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    12英寸PECVD設備實現國產化

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    12英寸PECVD設備實現國產化

    發布日期:2019-11-20 作者: 點擊:

    近日,國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”部署的“90-65nm等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備研發與應用”項目順利完成,實現了12英寸PECVD設備的國產化,填補了國內空白,提升了我國集成電路產業整體競爭力。
    PECVD設備是集成電路制造的核心設備之一,技術難度大,單臺價值高。一直以來,12英寸PECVD技術被歐美以及日本等國家所壟斷。在國家科技重大專項的部署及支持下,由企業與科研院所聯合研發,攻克了12英寸PECVD設備的架構平臺設計、薄膜工藝開發、仿真理論計算、設備可靠性及工藝可重復性、薄膜均勻性控制、射頻技術等關鍵技術問題,申請了專利307項,建立了技術標準10項,12英寸等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備(PF-300)榮獲國家重點新產品。產品通過了中芯國際12英寸晶圓制造及蘇州晶方、華進半導體、華天科技的12英寸三維封裝的生產驗證、采購認證與使用,各項指標達到國際水平,成本為國際設備的70%。目前項目實現了7臺12英寸PECVD的銷售,另有5臺設備已經交付用戶,產品及服務得到了用戶的一致認可。

    本文網址:http://www.zc-jc.com/news/412.html

    關鍵詞:溫州單面板,浙江雙面板,雙面板廠家

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